歡迎來到揚州國興技術有限公司 [官方網站]
項目 |
規格 |
主機尺寸 |
1955W x 1580D x 1750H mm |
真空腔體尺寸 |
1020W x 1330D x 913H mm |
電極板配置 |
16 片垂直電極板,15 個處理位置 |
有效區域 |
1100W x 615H mm |
等離子體電源 |
10kw-20kw |
電極溫度 |
35~95℃,模溫恒定控制,待機狀態也能保持溫度不變,省去預熱時間 |
工藝氣體控制 |
標配: |
真空檢測 |
0.01Torr~760Torr,真空計 |
工作氣壓 |
0.15~0.3Torr,控制精度 0.2mTorr |
人機界面觸摸屏 |
中文界面,模擬圖文顯示;操作員、工程師權限分級; |
真空泵組 |
選配 |
型號指示燈 |
三色指示燈,帶報警蜂鳴器 |
系統重量 |
~3.5 噸,包含主機、泵組、模溫機 |
空間需求 |
4000 x 4000 x 2200(H)mm |
電源需求 |
AC380V 三相五線,50Hz/100A,30kW |
壓縮空氣需求 |
潔凈、幹燥,0.5~0.8MPa |
工藝氣體需求 |
0.3~0.5MPa,純度>99.9% |
廠務冰水需求 |
20℃,20L/min (模溫機采用水冷式需求冰水,風冷式無該項) |
抽風系統 |
>100 立方/min (模溫機采用風冷式需求熱排風,水冷式無該項) |
廢氣管道 |
>3 立方/min,中央廢氣系統,DN50 |
環境溫濕度 |
20~30℃,30%~70%RH |