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国兴技术箱式真空等离子体处理系统GX-V1503

国兴技术箱式真空等离子体处理系统GX-V1503

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产品展示

国兴技术箱式真空等离子体处理系统GX-V1503

箱式真空等离子体处理系统GX-V1503

主机尺寸:2000W x 1700D x 2500H mm(可定制化)

真空腔体尺寸1140W x 1560D x 960H mm(可定制化)

电极板配置16 片垂直电极板,15 个处理位置

有效区域1115W x 630H mm(可定制化)

等离子体电源:定制化

工艺气体控制

标配:

O2、N2:0~5000sccm;

CF4:0~400sccm;

Ar:0~2000sccm;

可选: 额外一路工艺气体,流量范围可定制


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